Большая Советская Энциклопедия (МИ)

Микроинтерферометр

Микроинтерферо'метр, прибор, применяемый для измерений неровностей на наружных поверхностях с направленными следами механической обработки, а также для определения толщины плёнок, величины малых перемещении и т. и. Впервые М. разработаны В. П. Линником в 1933. В оптической схеме М. использованы интерферометр и микроскоп , что позволяет одновременно осуществлять наблюдение исследуемой поверхности и интерференционной картины, полученной в результате взаимодействия двух когерентных световых волн: волны сравнения, отражённой от образцового зеркала, и волны, отражённой от исследуемой поверхности и деформированной имеющимися на ней микронеровностями. Интерференционная картина в монохроматическом свете представляет собой чередование тёмных и светлых полос, форма которых в увеличенном масштабе воспроизводит профиль контролируемого участка поверхности (рис. ). Высота h неровности поверхности определяется через искривление а и ширину b интерференционной полосы: h = а/b ×^l /₂ , где l — средняя длина волны используемого участка спектра. С помощью М. можно измерять высоты от 0,03 до 1 мкм. Изготовляют М., работающие в белом и монохроматическом свете. М. снабжают окулярным микрометром для измерений или окуляром и фотокамерой для регистрации интерференционной картины. Некоторые М. имеют устройства для измерений неровностей до 10 мкм по отпечаткам, снятым с исследуемых поверхностей.

Лит.: Егоров В. А., Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности, 2 изд., М., 1965.

Л. Н. Логачева.

Рис. к ст. Микроинтерферометр.